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P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
特性：
• 大位移370μm
• 大承载3.5kg
• 通孔直径：Ø35mm
1~3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
• 图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动， 从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。
技术参数：
|
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P18.X200S P18.X200K |
P18.X300S P18.X300K |
P18.XY200S P18.XY200K |
P18.XY300S P18.XY300K |
P18.XYZ200S P18.XYZ200K |
单位 |
|
运动自由度 |
X |
X |
X、Y |
X、Y |
X、Y、Z |
||
|
标称行程范围(0~120V) |
200 |
300或±150 |
200/轴 |
300或±150/轴 |
200/轴 |
μm±20% |
|
|
大行程范围(-20~150V) |
280 |
370或±185 |
280/轴 |
370或±185/轴 |
280/轴 |
μm±20% |
|
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
||
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
Ø35 |
Ø35 |
Ø35 |
Ø35 |
mm |
|
|
闭/开环分辨率 |
8/5 |
10/5 |
8/5 |
10/5 |
8/5 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.15/- |
0.1/- |
0.15/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<15 |
<10 |
<15 |
<15 |
µrad |
|
|
推/拉力 |
60/20 |
150/150 |
60/20 |
150/150 |
30/10 |
N |
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http://www.coremorrow.cn/Products-11821214.html
https://www.ybzhan.cn/st16132/list_591107.html
